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01 背景 5.99黄山项玻璃材质易碎，且刚量产不久，蓝斑、破片、划伤等异常不断，在设备参数调整的同时，辅助于PM项目的规范，从而达到事半功倍的效果。 02项目介绍 ①新增PM表单 ②定义PM时间 按照09：00-13:00-17:00-21:00-01:00-05:00的时间点，技术每4个小时PM一次，每次约10min ③作业前切换PM状态 ③PM内容 PM内容主要是对PAD和Stage进行点检清洁。 CNC移载Pad擦拭清洁 CNC移载Pad擦拭清洁 PeelingAPad擦拭清洁 PeelingAPad擦拭清洁 Roller擦拭和铁氟龙贴附状况确认 03成果 固定区域压伤不良由18.15→0% 蓝斑不良由3.23%→0.19% 04总结 TPM在大家的共同努力下会越来越好! 赞赏 |
